誘導コイルのメンテナンス
誘導コイルによって、RF ジェネレータからのエネルギーをプラズマに変換します。変形したコイルは RF エネルギーを不均等にプラズマに分配し、トーチが融解する原因となるおそれがあります。コイルが損傷したことが疑われるときは、コイルを交換するためにサービスコールに連絡する必要があります。
若干の変色は想定されていますが、広範な変色がある場合は、サービスの必要性を示している可能性があります。メンテナンスが必要なときは、お近くのアジレントオフィスまたは担当者にお問い合わせください。
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誘導コイルの適切なサービスには特別な専門知識が必要なため、アジレントサービスエンジニアやアジレント認定担当者のみが、誘導コイルのサービスを実施することを強く推奨します。下記に示す安全性に関する危険に加え、不適切なサービスは、性能低下の原因となり、保証が無効になる可能性があります。 |
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火災の危険 |
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高温面 |
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トーチコンパートメントにコンポーネントを取り付ける際に、誘導コイルに触れないよう注意してください。 |