感应线圈将能量从 RF 发生器传输到等离子体。变形的线圈会将 RF 能量不均匀地分配给等离子体,并可能导致炬管熔化。如果怀疑线圈已损坏,则应安排服务请求以更换线圈。
可能会出现一些变色,但是,大范围变色则表明可能需要维修。如果需要维护,请联系当地的安捷伦客户服务中心。
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由于正确维修感应线圈需要专业知识,因此强烈建议仅由安捷伦现场服务工程师或安捷伦授权代表来维修感应线圈。除下面列出的安全隐患以外,不正确的维修还可能导致性能下降,并使保修失效。 |
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火灾危险 |
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高温表面 |
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在炬管室中安装任何部件时,请小心操作,避免碰到感应线圈。 |