清洁喷嘴
喷嘴需要进行定期的预防性维护。安捷伦建议每周至每月清洁一次喷嘴。

炬管室
其中:
1.锥 |
4.喷嘴 |
7.炬管 |
2.轴向窗片组件 |
5.径向窗片组件 |
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3.锥翼形螺钉 |
6.RF 线圈 |
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在处理被化学物质污染的组件时,请务必穿戴适当的防护服。 |
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本视频演示了如何清洁喷嘴。 |
清洁喷嘴:
- 取下炬管(如有安装)。
- 从径向窗片组件上轻轻拉出喷嘴,然后向右滑动。
- 用稀释的洗涤剂清洗,去除喷嘴内的所有固体积聚物。
- 用水冲洗喷嘴的内部和外部。
- 如果仍有任何污染物,请用无绒棉纸擦拭将其去除。
- 使用压缩空气或氮气彻底干燥喷嘴的内部和外部。
- 重新安装喷嘴时,请先将喷嘴滑入再轻轻推动,将喷嘴安装到径向窗片组件上。
- 检查喷嘴是否对齐。
- 喷嘴卡头应位于底部且彼此保持水平。请参见下图中的红色小方框。
- 插入炬管。炬管石英管上的插槽应与喷嘴上的插槽平行。请参见下图中的红色长方框。
- 将喷嘴向炬管方向轻轻滑出,直至喷嘴端部几乎碰到炬管壁。

喷嘴对齐