清洁喷嘴

喷嘴需要进行定期的预防性维护。安捷伦建议每周至每月清洁一次喷嘴。

炬管室

其中:

1.锥

4.喷嘴

7.炬管

2.轴向窗片组件

5.径向窗片组件

 

3.锥翼形螺钉

6.RF 线圈

 

在处理被化学物质污染的组件时,请务必穿戴适当的防护服。

清洁喷嘴:

  1. 取下炬管(如有安装)。
  2. 从径向窗片组件上轻轻拉出喷嘴,然后向右滑动。
  3. 用稀释的洗涤剂清洗,去除喷嘴内的所有固体积聚物。
  4. 用水冲洗喷嘴的内部和外部。
  5. 如果仍有任何污染物,请用无绒棉纸擦拭将其去除。
  6. 使用压缩空气或氮气彻底干燥喷嘴的内部和外部。
  7. 重新安装喷嘴时,请先将喷嘴滑入再轻轻推动,将喷嘴安装到径向窗片组件上。
  8. 检查喷嘴是否对齐。
  9. 喷嘴卡头应位于底部且彼此保持水平。请参见下图中的红色小方框。
  10. 插入炬管。炬管石英管上的插槽应与喷嘴上的插槽平行。请参见下图中的红色长方框。
  11. 将喷嘴向炬管方向轻轻滑出,直至喷嘴端部几乎碰到炬管壁。


    喷嘴对齐