部分的に取外し可能なトーチの組み立てと分解

トーチが部分的に取外し可能なモデルの場合、トーチの石英製チューブをトーチ本体とインジェクタから離し、簡単にクリーニングできます。

• トーチの組み立て
• トーチの分解

トーチを損傷しないように、取り扱い時や保管時には常に注意してください。装置の損傷を防止するため、トーチが損傷しているときは使用しないでください。

トーチのコンポーネントの、1 はトーチの外側のチューブセット、2 はインジェクタ、3 はシール、4 はガスポート、5 はトーチ本体、6 はボールジョイントです。

トーチの組み立て

トーチの取り付け

1. トーチシールの平らな側がトーチの石英製チューブの上側に向くように配置します。
   
   
   トーチシールの平らな側

2. チューブセットの下からトーチシールを滑らせます。
   
   
   トーチの石英製チューブのトーチシール

3. シールの上面が、位置合わせ用の「T」マークの下部と一致するよう、トーチシールの位置を合わせます。

位置合わせ用のマーク

4. 石英製外側チューブセットをまっすぐに平行移動し、トーチ本体に滑り込ませます。石英製チューブセットとインジェクタの間に触れないようにします。
   
   
   トーチ本体にトーチを挿入

5. トーチ本体にある溝と、トーチの石英製チューブのエッチングマークが一致するよう、トーチの石英製チューブの位置を合わせます。
   
   
   トーチの位置合わせ

6. トーチ本体にトーチを奥まで押し込み、トーチ固定リングを押し下げます。
   
   
   トーチ本体にトーチの石英製チューブを挿入

トーチの分解

高温面 トーチとトーチのコンパートメントは、装置の操作中に高温になり、プラズマをオフにした後もしばらくは高温の状態が続きます。プラズマコンパートメントに触れる際は、プラズマコンパートメントを 5 分以上放置して冷却してください。また、トーチを 2 分以上冷ましてから、外側チューブに触れたり、トーチを分解してください。

部分的に取外し可能なトーチの分解

トーチ本体からトーチの石英製チューブを手で滑らせることができないときは、マイナスドライバーでトーチシールを緩めてください。

1. 下図のオレンジの丸で示すスロットを手で持ち上げ、トーチシールを緩めます。

トーチシールを手で緩める

ドライバーは、トーチシールを手で緩められないときにだけ使用してください。 トーチシールを緩めるためドライバーを使用 トーチ固定リングとトーチ本体の間にあるスロットにドライバーを差し込みます。 ドライバーをやさしく上下に動かし、トーチ本体からトーチ固定リングを離します。 反対側のスロットでも手順 a と b を繰り返します。

2. 石英製外側チューブセットを、注意深くまっすぐに平行移動するように滑らせて、トーチ本体から取り外します。石英製チューブセットとインジェクタの間に触れないようにします。
   
   
3. チューブセットの上からシールを滑らせて矢印の方向に取り外します。
   
   

関連項目：

• トーチのクリーング手順
• ラーニング