トーチコンパートメント ドアのインターロックによって、内部インターロックの状態を監視して、プラズマと RF 放射への曝露を防げるように、ドアが正しく安全に閉じていることを確認できます。
オープン インターロックスイッチによって、プラズマ点火を禁止するか、既にあるプラズマを消灯します。
エラーメッセージ |
解決方法 |
トーチコンパートメント ドアのインターロックエラー |
トーチ コンパートメント ドアのハンドルが正常に閉じていることをチェックします。トーチ コンパートメント ドアを開いてから閉じます。 トーチが取り付けられていることをチェックします。「トーチの取り付け」を参照してください。 エラーが解消しない場合は、担当のアジレント フィールドサービス エンジニアまでご連絡ください。 |