轴向前置光路窗片可以保护内部组件免受等离子体中颗粒和烟雾的影响。
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更换窗片之前,务必先关闭仪器,并且在取下窗片后不得运行仪器。 |
此过程包括以下三个步骤:
图 1.炬管室
其中:
1.锥 |
4.喷嘴 |
7.炬管 |
2.轴向前置光路窗片组件 |
5.径向前置光路窗片组件 |
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3.锥翼形螺钉 |
6.RF 线圈 |
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高温表面 |
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在此过程中,切勿碰到 RF 线圈。 |
图 3.轴向前置光路窗片组件
其中:
1.轴向前置光路窗片 |
2.轴向窗片螺帽 |
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更换窗片时请务必佩戴手套。只能握住窗片的边缘。您手上的油脂会损坏窗片。 |
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切勿碰到 RF 线圈。 |
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在安装锥之前,必须重新安装好轴向前置光路窗片组件。如果未安装轴向前置光路窗片组件,锥将无法正确安装。 |
图 4.在未安装轴向前置光路窗片组件的情况下插入的锥
图 5.将螺钉与轴向前置光路窗片组件对齐
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如果用于固定锥的翼形螺钉未充分拧紧,锥的冷却性能可能会受到影响。 |