轴向前置光路窗片可以保护内部组件免受等离子体中颗粒和烟雾的影响。
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更换窗片之前,务必先关闭仪器,并且在取下窗片后不得运行仪器。 |
此过程包括以下三个步骤:
图 1.炬管室
其中:
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1.锥 |
4.喷嘴 |
7.炬管 |
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2.轴向前置光路窗片组件 |
5.径向前置光路窗片组件 |
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3.锥翼形螺钉 |
6.RF 线圈 |
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高温表面 |
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切勿碰到 RF 线圈。 |

图 3.径向前置光路窗片组件
其中:
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1.径向前置光路窗片 |
2.径向窗片螺帽 |
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更换窗片时请务必佩戴手套。握住窗片的边缘。您手上的油脂会损坏窗片。 |


