炬管室门联锁

炬管室门联锁用于监视内部联锁的状态,确保门正确且牢固地关闭,以避免暴露于等离子体和 RF 辐射下。

如果联锁开关打开,将导致等离子体无法点火或使当前的等离子体熄灭。

可能的错误信息

错误信息

补救措施

炬管室门联锁跳开

检查炬管室门手柄是否正常关闭。打开炬管室门,然后重新关闭。

检查是否已安装炬管。请参见安装炬管

如果错误仍然存在,请联系经授权的安捷伦现场服务代表。