炬管室门联锁用于监视内部联锁的状态,确保门正确且牢固地关闭,以避免暴露于等离子体和 RF 辐射下。
如果联锁开关打开,将导致等离子体无法点火或使当前的等离子体熄灭。
错误信息
补救措施
炬管室门联锁跳开
检查炬管室门手柄是否正常关闭。打开炬管室门,然后重新关闭。
检查是否已安装炬管。请参见安装炬管。
如果错误仍然存在,请联系经授权的安捷伦现场服务代表。