水源

错误信息

仪器状态 LED 指示

解释

补救措施

由于冷却水流量故障，因此禁用 CCD Peltier。

仪器控制 PCA 检测到流入仪器的冷却水流量存在问题。

LED 呈红色。

冷却水源未打开。

打开水冷却器。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

水源输出压力不在所需的范围内。

调整水压。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

进水管和出水管接反

正确连接水管。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

进水口水温出现问题。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

仪器进水口过滤器堵塞。

清洁水过滤器。

水流量 (%f LPM) 低于阈值 (%f LPM)

仪器控制 PCA 检测到通过 RF 冷却水流路的水流量出现问题。

熄灭等离子体

关闭 Peltier。

LED 呈红色。

冷却水源未打开。

打开水冷却器。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

水源输出压力不在所需的范围内。

调整水压。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

进水管和出水管接反

正确连接水管。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

仪器进水口过滤器堵塞。

清洁水过滤器。

（进水口）水温 (%f C) 高于阈值 (%f C)

供应给仪器的冷却水的温度超过最高允许值。

限制等离子体点火。

等离子体熄火。

LED 呈红色。

 冷却水源未打开。

打开水冷却器。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

冷却水水源温度存在问题。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

（进水口）水温 (%f C) 低于阈值 (%f C)

供应给仪器的冷却水的温度低于允许限值。
冷却水温度太低可能会导致严重的冷凝现象和组件故障。

限制等离子体点火。

等离子体熄火。

LED 呈红色。

冷却水源未打开。

打开水冷却器。有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

冷却水水源温度存在问题。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

（出水口）水温 (%f C) 高于阈值 (%f C)

流出仪器的冷却水温度超过最高允许值。
这表明等离子体系统中存在不平衡。

LED 呈黄色。

冷却水源未打开。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

将冷却水供应调整为较低的温度设定值，然后重试。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

降低方法中的等离子体功率设定值，然后重试。

调整 RF 功率。

（出水口）水温 (%f C) 低于阈值 (%f C)

流出仪器的冷却水温度低于允许的限值。

LED 呈黄色。

冷却水源未打开。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

冷却水水源温度不正确。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

电磁阀 1 驱动器故障

限制等离子体点火。

LED 呈红色。

仪器控制 PCA（板）检测到水用电磁阀或水用电磁阀驱动器出现问题。检测到的故障包括短路、对地短路、对供电线路短路、输出间短路或过电流。

请与安捷伦现场服务工程师或客户代表联系。

水（进水口）热敏电阻断路

水（进水口）热敏电阻短路

水（出水口）热敏电阻断路

水（出水口）热敏电阻短路

LED 呈红色。

由于热敏电阻断路，温度读数低。

由于热敏电阻短路，温度读数高。

请与安捷伦现场服务工程师或客户代表联系。

水流量 (%f LPM) 低于阈值 (%f LPM)

流入 CCD 的冷却水流量低。

关闭 CCD Peltier

LED 呈红色。

冷却水源未打开。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

水源输送压力不在所需的范围内。

检查接头是否发生泄漏。

有关信息，请参阅冷却器随附的文档。

进水管和出水管接反。

正确连接水管。

仪器进水口过滤器堵塞。

清洁水过滤器。

进水口和出水口接反

关闭等离子体

LED 呈红色。

记录的出水口温度低于进水口温度。
这表明水管线接反。

正确连接水管。