アキシャルプレ光学系ウィンドウは、プラズマから出る微粒子やガスから内部コンポーネントを保護します。
![]() |
ウィンドウの作業を開始する前に必ず装置をオフにしてください。また、ウィンドウを外しているときに装置を操作しないでください。 |
この手順には 3 つのステップがあります。
図 1トーチコンパートメント
ここで、
1.コーン |
4.スナウト |
7.トーチ |
2.アキシャルプレ光学系ウィンドウアセンブリ |
5.ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリ |
|
3.コーンつまみねじ |
6.RF コイル |
|
![]() ![]() |
高温面 |
![]() |
この手順を実行する際に、RF コイルにぶつけないでください。 |
図 3アキシャルプレ光学系ウィンドウアセンブリ
ここで、
1.アキシャルプレ光学系ウィンドウ |
2.アキシャルウィンドウ ナット |
![]() |
ウィンドウを交換する際には、常に手袋を着用してください。端だけを持ってウィンドウを保持します。手の油が付くと、ウィンドウが損傷します。 |
![]() |
RF コイルにぶつけないでください。 |
![]() |
アキシャルプレ光学系ウィンドウアセンブリを元の位置に戻した後で、コーンをはめこみます。アキシャルプレ光学系ウィンドウが取り付けられていないと、コーンが適切にはまりません。 |
図 4アキシャルプレ光学系ウィンドウアセンブリが取り付けられていない状態で挿入されたコーン
図 5アキシャルプレ光学系とねじの位置合わせ
![]() |
コーンを所定の位置に保持するつまみネジをしっかり締めないと、コーンの冷却特性を損なう可能性があります。 |