ラディアルプレ光学系ウィンドウの交換

アキシャルプレ光学系ウィンドウは、プラズマから出る微粒子やガスから内部コンポーネントを保護します。

ウィンドウの作業を開始する前に必ず装置をオフにしてください。また、ウィンドウを外しているときに装置を操作しないでください。

この手順には 3 つのステップがあります。

• ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリの取り外し
• ラディアルプレ光学系ウィンドウの交換
• ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリの取り付け

図 1トーチコンパートメント

ここで、

1.コーン	4.スナウト	7.トーチ
2.アキシャルプレ光学系ウィンドウアセンブリ	5.ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリ
3.コーンつまみねじ	6.RF コイル

ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリを取り外すには、次のように操作します。

1. ICP-OES 装置をオフにします。

高温面 装置の動作中にトーチコンパートメントとその中の各コンポーネントが非常に熱くなり、装置のスイッチを切った後でもしばらく高温の状態が続きます。トーチコンパートメントを 5 分以上冷ましてからコンポーネントを取り外してください。耐熱手袋を使用してください。

2. トーチとスナウトを取り外します。図 1 を参照してください。
3. プラスドライバーを使用して、ラディアルプレ光学系ウィンドウ アセンブリの 2 本のねじを緩めて外します。
   
   
   図 22 本のラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリのねじを取り外す
4. ラディアルプレ光学系ウィンドウ アセンブリを手前にゆっくりと引っ張り、取り外します。

RF コイルにぶつけないでください。

5. ラディアルプレ光学系ウィンドウに汚れがないか確認します。必要に応じて、交換またはクリーニングします。

ラディアルプレ光学系ウィンドウを交換するには、次のように操作します。

図 3ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリ

ここで、

1.ラディアルプレ光学系ウィンドウ

2.ラディアルウィンドウ ナット

1. ラディアルウィンドウのナットをアセンブリから緩めて外します。
2. ラディアルプレ光学系ウィンドウをアセンブリから取り外します。簡単にスライドして外せるはずです。

ウィンドウを交換する際には、常に手袋を着用してください。端を持ってウィンドウを保持します。手の油が付くと、ウィンドウが損傷します。

5. ラディアルプレ光学系ウィンドウをアセンブリに挿入します。
6. ラディアルウィンドウ ナットを回して締め、アセンブリに固定します。

ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリを取り付けるには、次のように操作します。

1. ラディアルプレ光学系ウィンドウアセンブリの 2 本のねじをアセンブリに挿入します。

2. ラディアルウィンドウ アセンブリを装置に挿入します。
3. 2 本のねじとねじ穴の位置を揃えます。

4. ラディアルプレ光学系ウィンドウ アセンブリの 2 本のねじを締めます。
5. スナウトを中に滑り込ませ、ゆっくり押して、スナウトをラディアルプレ光学系ウィンドウ アセンブリにはめこみます。
6. スナウトの位置合わせを確認します。
7. スナウトのタブは、下にあり、横に並んでいるはずです。下図の赤い長方形を参照してください。
8. トーチを挿入します。トーチの石英製チューブのスロットがスナウトのスロットと平行になっている必要があります。下図の赤い長方形を参照してください。
   
   
   スナウトの位置合わせ