冷却水流量スイッチは、冷却水マニホールドアセンブリに取り付けます。冷却水流量が不十分なときは、「冷却水流量低下」というエラーメッセージが、ICP Expert ソフトウェアに表示され、プラズマ点火が禁止されます。プラズマ動作中に本エラーが検出されたときは、速やかにシャットダウンが実行されます。
以下の手順を試しても問題が継続する場合は、アジレント サービスエンジニアまたは担当者にお問い合わせください。
エラーメッセージ |
装置ステータス LED の操作 |
説明 |
解決方法 |
冷却水流量のエラーが原因で CCD ペルティエが無効になっています。 機器コントロール PCA が、装置への冷却水流量で問題を検出しました。 |
LED が赤色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
水冷チラーの電源を入れます。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水の供給圧が要求される範囲から外れています。 |
冷却水の圧力を調整します。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
インレットおよびアウトレットの冷却水ホースが逆に接続されています |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
冷却水注入口温度に問題があります。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
装置の冷却水インレットフィルターが詰まっています。 |
|||
冷却水流量 (%f LPM) がしきい値 (%f LPM) を下回っています 機器コントロール PCA が、RF 冷却水フローパスを通る冷却水の流量で問題を検出しました。 |
プラズマが消灯します。 ペルティエが停止します。 LED が赤色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
水冷チラーの電源を入れます。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水の供給圧が要求される範囲から外れています。 |
冷却水の圧力を調整します。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
インレットおよびアウトレットの冷却水ホースが逆に接続されています |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
装置の冷却水インレットフィルターが詰まっています。 |
|||
水 (注入口) 温度 (%f C) がしきい値 (%f C) を超えています 装置に供給される冷却水の温度が、最大許容温度を超えています。 |
プラズマ点火が妨げられています。 プラズマが消灯します。 LED が赤色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
水冷チラーの電源を入れます。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水供給温度に問題があります。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
水 (注入口) 温度 (%f C) がしきい値 (%f C) 未満です 装置に供給される冷却水の温度が、許容リミットを下回っています。 |
プラズマ点火が妨げられています。 プラズマが消灯します。 LED が赤色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
水冷チラーの電源を入れます。詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水供給温度に問題があります。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
水 (排出口) 温度 (%f C) がしきい値 (%f C) を超えています 装置からの排水温度が、最大許容温度を超えています。 |
LED が黄色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水供給をより低い設定温度に調整してから再試行します。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
メソッドでのプラズマパワー設定ポイントを下げてから再試行します。 |
|||
水 (アウトレット) 温度 (%f C) がしきい値 (%f C) を下回っています 装置から排出される冷却水の温度が、許容されるリミットを下回っています。 |
LED が黄色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
冷却水供給温度が正しくありません。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
ソレノイド 1 ドライバーエラー |
プラズマ点火が妨げられています。 LED が赤色になります。 |
機器コントロール PCA（ボード）で、冷却水バルブソレノイドまたは冷却水ソレノイドドライブに問題が検出されました。検出されるエラーには、ショート回路、接地ショート、電源レールへのショート、出力のショート、過電流などがあります。 |
|
水 (注入口) サーミスタにオープン回路があります 水 (注入口) サーミスタにショート回路があります 水 (排出口) サーミスタにオープン回路があります 水 (排出口) サーミスタにショート回路があります
|
LED が赤色になります。 |
オープンサーミスタの測定温度が低温です。 サーミスタショートの測定温度が高温です。 |
|
冷却水流量 (%f LPM) がしきい値 (%f LPM) を下回っています 報告された CCD への冷却水流量は低流量です。 |
CCD ペルティエの電源を切ります。 LED が赤色になります。 |
冷却水供給がオンになっていません。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
水の供給圧が要求される範囲から外れています。 |
詳細については、チラーの付属文書を参照してください。 |
||
インレットおよびアウトレットの冷却水ホースが逆に接続されています。 |
|||
装置の冷却水インレットフィルターが詰まっています。 |
|||
水注入口と排出口の接続が逆です |
プラズマを停止します LED が赤色になります。 |
冷却水出口温度が、冷却水注入口温度より低温で記録されています。 |