Ignition(点火)页面用于指定炬管点燃序列的操作条件。页面上显示炬管点燃过程每个步骤的条件。点火顺序中涉及的步骤按其在表格的行中出现的序列显示:吹扫、稳定、点火、运行。
此表由以下各列组成,其中包含炬管点燃序列中每个步骤的操作条件。
定义序列中每个阶段的等离子体气体流量,单位为 L/min。
定义序列中每个阶段的辅助气体流量,单位为 L/min。
显示序列中每个阶段的气体流量,单位为 L/min。O2/Ar 仅在使用氧气注入时可用。
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可编辑字段会有所不同,具体取决于阶段和气体流量。 |
启用喷嘴吹扫功能时显示。唯一可编辑的字段是在运行期间启用或禁用喷嘴吹扫。
定义序列中每个阶段的操作功率。
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无法编辑 Power(功率)列中的 Purge(吹扫)、Stabilization(稳定)和 Ignite(点燃)字段。 |
定义序列中每个阶段的泵速(每分钟转数)。
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无法编辑 Pump(泵)列中的 Ignite(点燃)字段。 |
显示每个适用步骤的持续时间。这是不可编辑的。
用默认设置替换当前的点火设置参数。