仪器窗口 - 仪表板

单击 Instrument(仪器)窗口左侧导航面板中的“Dashboard”(仪表板)。

Diagnostic Gauges(诊断量表)可用于监视各种仪器参数。随后无需寻求服务帮助即可自行调整许多这些参数。如果怀疑仪器存在问题,请使用量表检查各种仪器参数。

如果正在使用量表,则测量值应在绿色带(正常)或黄色带中(不理想,但仪器仍然可正常运转)。红色带中出现任何值均表明有需要解决的问题。

有些值会显示为“0”,因为该值未使用(例如,O2 选配气体)或需满足一定条件,例如等离子气体和RF 冷却水流量的值在等离子体点火过程开始之前都不会在绿色区带显示。

RF 冷却水流量测试

仅在等离子体关闭时可用。要检查 RF 冷却水流量,请选择“Air/Water Cooling”(气冷/水冷)量表套件,然后单击 RF 冷却水流量“On”(打开)按钮。监控“RF Water Flow”(RF 冷却水流量)量表上的水流量。RF 冷却水流量在一段固定的时间后关闭,以防止在等离子关闭的情况下射频发生器上产生冷凝水。

吹扫气体流量测试

仅在等离子体关闭时可用。在气源发生变化,并需要将空气从气体管线吹扫出去时,以及在气体流动时测定仪器气体输入压力是否仍在规格范围内,“Purge Gas Flows”(吹扫气体流量)按钮是很有用的工具。单击“Purge Gas Flows”(吹扫气体流量)开始测试。

量表选择

单击任意一组,查看仪器各区域的特定量表套件,包括气源、气冷和水冷、光学、等离子体和通用套件。每个套件都显示相关的温度、压力以及气体流量或冷却水流量信息。

有关每个量表及其显示内容的更多信息,请单击此处。

量表定制

单击量表下拉菜单,选择要监视的特定量表。

告诉我量表的含义以及如何使用它们排除故障。

绘制量表数据曲线图

要绘制量表数据曲线图,请右键单击量表,然后选择 Plot Graph(绘制曲线图)。如果选择了另一页,则会继续在后台绘制曲线图,但是如果选择了另一组量表(量表套件),则绘图会停止。

右键单击量表,然后选择“Stop”(停止)以停止绘图。要导出绘制的数据,右键单击曲线图,然后选择“Export”(导出)。

技巧
执行这些随时间推移变化的绘图对于确定趋势(例如慢慢升高雾化器压力或降低氩气入口压力)特别有用。这样可以查明是否需要执行维护,以及在执行维护后是否可以防止问题再次出现。

雾化器测试

雾化器堵塞是许多仪器性能问题的根源,包括灵敏度降低和精度变差。可以使用背压测试设备来验证雾化器性能。

请参阅有关如何运行此测试的说明

结果显示在“Instrument”(仪器)窗口的“Tests”(测试)选项卡中。

技巧
在雾化器全新时便对其进行测试,测试结果在将来检查可疑堵塞时可用作参比点。

雾化器背压故障可能由以下原因引起:

另请参见: