[点火]ページは、トーチ点火シーケンスの作動条件を指定するために使用します。トーチ点火手順の各ステップの条件がページに表示されます。点火シーケンスに含まれるステップが、表の行に発生順(パージ、安定化、点火、分析の順)に表示されます。
[点火]表は次の列で構成されています。これらの列にはトーチ点火シーケンスの各ステップの作動条件が記載されています。
シーケンスの各ステージでのプラズマガス流量を L/min 単位で定義します。
シーケンスの各ステージでの補助ガス流量を L/min 単位で定義します。
シーケンスの各ステージでのガス流量を L/min 単位で表示します。酸素導入を使用しているときは、O2/Ar のみを利用できます。
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編集可能なフィールドはステージとガス流量により異なります。 |
スナウトパージを有効にしているときに表示されます。唯一の編集可能なフィールドは、測定中にスナウトパージを有効または無効にするためのものです。
シーケンスの各ステージでの作動パワーを定義します。
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[電源]列の[パージ]、[安定化]、[点火]フィールドは編集できません。 |
シーケンスの各ステージでのポンプ速度(1 分間当たりの回転数)を定義します。
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[ポンプ]列の[点火]フィールドは編集できません。 |
該当するステップそれぞれの所要時間が表示されます。継続時間は編集できません。
現在の点火設定パラメータがデフォルト設定に置き換わります。