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装置ウィンドウ - ダッシュボード
［装置］ウィンドウの左側にあるナビゲーションパネルで、［ダッシュボード］をクリックします。
診断ゲージは様々な装置パラメーターのモニタリングに使用できます。これらの多くのパラメーターは、サービスエンジニアを呼ぶことなく調整することができます。もし、装置の故障が疑われるときは、ゲージを使って、さまざまな装置パラメーターをチェックします。
ゲージを使用するときは、パラメーターの値は、ゲージの緑（通常）の範囲、または黄色（装置は機能しますが理想的とは言えない状態）の範囲内でなければなりません。値のどれかが赤色の範囲にあるときは、対応を必要とする問題が発生しています。
一部の値では「0」が表示されます。その理由は、使用されていないか（たとえば、酸素オプションガス）、あるいは、プラズマガスと RF 冷却水がプラズマ点火処理が開始するまで緑の範囲で表示されないなど、条件に依存することによります。
RF 冷却水流量テスト
RF 冷却水流量テストは、プラズマがオフの場合のみ利用できます。RF 冷却水をチェックするには、［空気/冷却水システム］ゲージスイートを選択し、RF 冷却水［オン］ボタンをクリックしてください。冷却水流量を［RF 冷却水］ゲージでモニタします。RF 冷却水は設定時間経過後に停止し、プラズマ オフに伴って RF ジェネレータに結露が発生するのを防ぎます。
パージガス流量テスト
RF 冷却水流量テストは、プラズマがオフの場合のみ利用できます。［パージガス流量］ボタンは、供給に変化が生じたときにガスラインから空気をパージしたり、装置ガス吸入圧力が、ガスフロー中でも仕様範囲内にあるか判定したりするのに、便利なツールです。［パージガス流量］をクリックして、テストを開始します。
ゲージ選択
任意のセットをクリックすると、装置の特定領域のゲージスイートが表示されます。その中には、ガス供給圧力、空冷システム、冷却水システム、光学系、プラズマ、および全般に関するセットが含まれます。スイートごとに、関連する温度、圧力、およびガス流量か冷却水流量の情報が示されます。
各ゲージとその表示内容の詳細については、ここをクリックしてください。
カスタムゲージ
ゲージ ドロップダウンメニューをクリックして、モニタする特定のゲージを選択します。
ゲージの意味とゲージを使ったトラブルシューティングについては、ここをクリックしてください。
グラフ上にゲージデータをプロット
グラフ上にゲージデータをプロットするには、ゲージ上で右クリックして［プロットグラフ］を選択します。他のページが選択されてもバックグラウンドでグラフのプロットは続きますが、ゲージの他のセット（ゲージスイート）が選択されたときは、プロットは停止します。
プロットを停止するには、ゲージ上で右クリックして［停止］を選択します。プロットされたデータをエクスポートするには、グラフ上で右クリックして、［エクスポート］を選択します。
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Tip |
ネブライザーテスト
詰まりの起こったネブライザーは、感度ロスや低い精度を含む、多くの光学性能不具合の原因となります。背圧テスト機能を使用して、ネブライザーを検証できます。
このテストの実行方法を説明しています。
結果は［装置］ウィンドウの［テスト］タブに表示されます。
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Tip |
ネブライザーの背圧によるエラーは、以下によって発生します。
関連項目：