プラズマ

エラーメッセージ

装置の操作とステータス LED

説明

解決方法

シャーシアラームのためにプラズマが消灯しました (状態 %u)

N/A

冷却水関係のアラームが原因で、プラズマが消灯しました。

冷却水供給がオンになっていません。

詳細については、チラーの付属文書を参照してください。

水の供給圧が要求される範囲から外れています。

フィッティングに漏れがないかチェックします。

詳細については、チラーの付属文書を参照してください。

インレットおよびアウトレットの冷却水ホースが逆に接続されています。

冷却水ホースを正しく接続します。

冷却水注入口温度に問題があります。

詳細については、チラーの付属文書を参照してください。

装置の冷却水インレットフィルターが詰まっています。

冷却水フィルターをクリーニングします。

ガスアラームのためにプラズマが消灯しました (状態 %u)

N/A

ガス流量関係のアラームが原因で、プラズマが消灯しました。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ガス供給がオンになっていません。

フィッティングに漏れがないかチェックします。

ガス供給をオンにします。

ガス供給圧力が要求される範囲から外れています。

フィッティングに漏れがないかチェックします。

ガス圧が、『ICP-OES 設置前要領書』または装置の右側面に示されている範囲に収まるように調整します。

主電源アラームのためにプラズマが消灯しました (状態 %u)

N/A

メイン電源モジュールでのアラームまたはメイン電源モジュールとの通信が失われたことが原因で、プラズマが消灯しました。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

左側の電源スイッチから装置を再起動します。

SSRF アラームのためにプラズマが消灯しました (状態 %u)

N/A

SSRF 制御 PCA（ボード）からレポートされたアラームか SSRF 制御 PCA との通信が失われたことが原因で、プラズマが消灯しました。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ハードウェアインターロックが開いたためプラズマが消灯しました (状態 %u)

プラズマがオフになっています。

LED が赤色になります。

ハードウェアインターロックがトリガーされたことが原因で、プラズマが消灯しました。

インターロックスイッチが正常に作動していません。

プラズマコンパートメントのドアが完全に閉じていません。

プラズマコンパートメントのドアを完全に開けてから閉じます。

トーチローダーのハンドルが、完全に閉じた位置になっていません。

トーチローダーハンドルを完全に開けてから閉じます。

水流量の問題のためにプラズマが消灯しました (状態 %u)

N/A

冷却水流量のエラーが原因で、プラズマが消灯しました。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する冷却水エラーメッセージを参照してください。

ガスチャンネル状態 (状態 %u) に対して失敗が返されました

N/A

ガス流量のエラーが原因で、プラズマが消灯しました。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

プラズマコントローラ状態操作でタイムアウトが発生しました (State %u)

LED が赤色になります。

プラズマ点火中に、必要な条件が満たされず、プラズマ点火が中止されました。

プラズマ点火を再試行します。

エラーログを参照して、その他のプラズマエラーがないか確認します。

完了コード %u がコマンド %u への応答として受信されました

N/A

プラズマ点火の実行中に、P500 プロセスとの内部通信からエラーが返されました。

プラズマ点火を再試行します。

プラズマ操作のためのガス流量の安定化に失敗しました

N/A

プラズマ安定化操作中にガスフローチャンネルがエラーをレポートしました。ガス流量が制限時間内に安定化しませんでした。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

プラズマチャンネルガス流量 (%.2f L/min) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にプラズマチャンネルのガス流量を設定しようとしたときに、P500 ガスコントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置操作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

補助ガスチャンネルのガス流量 (%.2f L/min) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中に補助チャンネルのガス流量を設定しようとしたときに、P500 ガスコントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ネブライザーチャンネルガス流量 (%.2f L/min) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にネブライザーチャンネルのガス流量を設定しようとしたときに、P500 コントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

酸素チャンネルガス流量 (%.2f L/min) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中に酸素注入チャンネルのガス流量を設定しようとしたときに、P500 ガスコントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

メークアップチャンネルガス流量（%.2f L/min）の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にメークアップチャンネルのガス流量を設定しようとしたときに、P500 ガスコントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

コーンパージガス流量の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にコーンパージのガス流量を設定しようとしたときに、P500 ガスコントローラプロセスやガス制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 動作モードの設定中に通信エラーが発生しました (モード %u)

N/A

プラズマ安定化操作中に動作状態を設定しようとしたときに、P500 RF コントローラプロセスや RF 制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF ターゲットパワーの設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にターゲットプラズマパワーを設定しようとしたときに、P500 RF コントローラプロセスや RF 制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ポンプ速度 (%.1f RPM) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にペリスタリックポンプの速度を設定しようとしたときに、P500 ポンプコントローラプロセスやポンプ制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するポンプエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

水冷却操作の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中に RF 冷却水フローを有効化しようとしたときに、P500 シャーシコントローラとの内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する冷却水エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

主電源ブロワーパワー比率 (%.1f%%) の設定中に通信エラーが発生しました

N/A

プラズマ安定化操作中にブロワーの速度を設定しようとしたときに、P500 メインコントローラプロセスやメイン制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 動作モードの設定中に通信エラーが発生しました (モード %u)

N/A

プラズマ安定化操作中にターゲットプラズマパワーを設定しようとしたときに、P500 RF コントローラプロセスや RF 制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 動作モードの設定中に通信エラーが発生しました (モード %u)

N/A

点火操作中に動作状態を設定しようとしたときに、P500 RF コントローラプロセスや RF 制御 PCA との内部通信でエラーが返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置操作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ガスチャンネル流量が、点火のための上昇中に設定値の方向に変化していません

プラズマ点火が中止されました

LED が赤色になります。

装置が点火シーケンス中にガス流量を正しく上昇させることができませんでした。

ガスがオンになっており、供給圧力が正しく設定されていることを確認します。

トーチに問題があります。

詰まりがないかチェックし、組立が正しいことを確認します。

ガスチューブに漏れ、よじれ、詰まりなどの問題があります。

ガス供給チューブに損傷やよじれがないかチェックします。

プラズマガスモジュールにエラーが発生しました。

ガスモジュールのトラブルシューティングのアドバイスを参照してください。

RF PCA がプラズマを維持できず、発振器が実行状態を終了しました

N/A

RF システムがエラーを返しました。RF 制御 PCA（ボード）が、予期せず実行状態から移行しました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当する RF エラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

完了コード %u がコマンド %u への応答として受信されました

N/A

ガスのゼロ調整操作中に P500 ガスコントローラからエラー応答が返されました。

操作を再試行します。

トラブルシューティングのアドバイスについては、エラーログで該当するガスエラーメッセージを参照してください。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 制御 PCA との SLIP 通信が切断されました

プラズマがオフになっています。

LED が赤色になります。

機器コントローラと RF 制御 PCA（ボード）の通信が予期せず失われました。

操作を再試行します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 動作モードの設定中にエラーが発生しました (モード %u)

プラズマがオフになっています。

LED が赤色になります。

RF 制御 PCA（ボード）との通信を試みたときにエラーが返されました。

操作を再試行します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF コイルターゲットパワーの設定中にエラーが発生しました (%.3f)

プラズマがオフになっています。

LED が赤色になります。

プラズマパワーを設定しようとしたときにエラーが返されました。

操作を再試行します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。