RF エラー

RF 制御ウォッチドッグ

RF 制御ウォッチドッグによって、プラズマ発生システムを効果的に制御します。本ウォッチドッグシステムによって、プラズマ発生システムが正常に動作していないことが検出されたときは、高電源電圧がシャットダウンされます。

考えられるエラーメッセージ

以下の手順を試しても問題が継続する場合は、アジレント サービスエンジニアまたは担当者にお問い合わせください。

エラーメッセージ

装置の操作とステータス LED

説明

解決方法

24 V 電源がしきい値の上限を超えています

24 V 電源がしきい値の下限を下回っています

 

RF 制御 PCA(ボード)が、メイン電源モジュールから 24V 電源エラーを返しました。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

12 V 電源がしきい値の上限を超えています

12 V 電源がしきい値の下限を下回っています

3.3 V 電源がしきい値の上限を超えています

3.3 V 電源がしきい値の下限を下回っています

 

RF 制御 PCA(ボード)が、RF 制御 PCA 上で生成された電源電圧のエラーを返しました。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

測定空気流量 (%.1f) が低すぎます。プラズマを消灯します

 

RF 発振器コンパートメントからの排気流量の測定値が、必要な冷却空気流量を下回っています。

吸気口が詰まっています。

吸気口に障害物がないかチェックします。

吸気口フィルターを洗浄または交換する必要があります。

吸気口フィルターをクリーニングします。

排気システムのアウトレットが詰まっています。

排気システムのアウトレットに障害物がないかチェックします。

排気ファンがオンになっていないか、または機能していません。

排気ファンをオンにします。

発振器のサーマルカットアウトが作動し、プラズマが消灯しました

発振器が十分冷却されるまで点火は阻害されます。

RF 発振器アセンブリから異常に高い温度がレポートされ、予防措置としてプラズマが停止しました。

再試行する前に 10 分間システムを冷却させることを推奨します。

冷却水システムが作動していません。

詳細については、チラーの付属文書を参照してください。

冷却水流量が不十分です。

冷却水フィルターをクリーニングします

詳細については、チラーの付属文書を参照してください。

吸気口が詰まっています。

吸気口に障害物がないかチェックします。

吸気口フィルターをクリーニングします。

排気システムがオンになっていないか、または正しく機能していません。

排気システムのアウトレットに障害物がないかチェックします。

排気ファンをオンにします。

プラズマの光が見えなくなっています

RF 発振器のシャットダウン
 

プラズマセンサーがプラズマからの光を検出できなくなりました。

サンプルタイプが変わったことで、プラズマが消灯しました。

 

サンプル導入システムに問題があります(たとえば、空気の漏れ)。

ネブライザースプレーチャンバーの取り付け状態をチェックします。

チューブ接続をチェックします。

プラズマガス流量に問題があります。

ガス流量をチェックします。必要な圧力について、『ICP-OES 設置前要領書』を参照してください。

電源電流(%u mA)が最小しきい値 (%u mA) を下回っています

 

プラズマ点火か分析操作の実行中に RF 電源電流の測定値がしきい値を下回りました。これは、プラズマが消灯したことを示します。

操作を再試行することを推奨します。

注:エラー発生時のプラズマ点火ステップに従うと、診断情報が得られます。

最大電源電流しきい値に到達しました(%u mA > %u mA)

 

RF 電源電流が、許容される最大値に到達しました。

高い RF パワー設定と特定のサンプルタイプまたはドライプラズマとの組み合わせ。

プラズマに導入されたのとは別のサンプルタイプで、またはもっと低い RF パワーで再試行します。

%u W のプラズマパワー用の動作パラメータを決定できません。

 

要求されたプラズマパワー設定は、サポートされているパワーの範囲外です。

1 つ前の操作をやり直します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

ワークシートが破損しています。

新規ワークシートで実行します。

電源電圧が %.1f V (%u ms) に達するのを待っている間にタイムアウトしました

 

RF 制御 PCA (ボード) でモニタされた RF 電源電圧が、必要な時間内に設定電圧に達しませんでした。

1 つ前の操作をやり直します。

バイアス電圧リミットに達しましたが、Iosc = %d mA です。expected >= %d mA

 

プラズマ点火シーケンス中に、期待される RF 電源電流負荷に達する前に FET バイアスの最大リミットに達しました。これは、RF 発振器が発振に失敗したことを示します。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

電源電流上限、%u mA > %u mA

 

プラズマ点火シーケンス中に、RF 電源が点火前状態での最大電流に達しました。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

電源電流下限、%u mA < %u mA

 

RF 電源電流の測定値が、期待される点火前状態を下回っています。これは、RF に問題があることを示しています。

1 つ前の操作をやり直します。

注:エラー発生時のプラズマ点火ステップに従うと、診断情報が得られます。

点火前条件を %u ms 以内に達成できませんでした。V %u mV

 

RF 電源でモニタされた RF 電源電圧が、要求される時間内に設定電圧に達しませんでした。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

点火コマンドが %d 秒以内に受信されませんでした。シャットダウンします。

 

プラズマの点火を開始させるコマンドが、P500 プロセッサからタイムアウト時間内に受信されませんでした。

プラズマ点火を再試行します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

電源電流リミットを超えました。Ips %u mA > %u mA

 

RF 発振器の電流が、期待される点火値を超えました。これは、RF 発振器アセンブリに問題があることを示しています。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

FET バイアス電圧リミットに達しましたが、Ips %u mA < %u mA です

 

RF 電源電流により RF 発振器が発振していることが示されるより前に最大バイアス電圧に達しました。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

電源電流リミットを超えました。Ips %u mA > %u mA

 

RF 発振器の電流が、期待される点火値を超えました。これは、RF 発振器アセンブリに問題があることを示しています。

Agilent サービスエンジニアまたはお客様窓口にお問い合わせください。

プラズマ点火が %u mS 以内に達成されませんでした。Ips %u mA

 

プラズマが期待される時間内に検出されませんでした。

トーチに異常があります。

詰まりがないかチェックし、組立が正しいことを確認します。

ガス流量が正しくありません。

ガス流量をチェックします。必要な圧力について、『ICP-OES 設置前要領書』を参照してください。

アルゴンの純度に問題があります。

必要なガス純度について、『ICP-OES 設置前要領書』を参照してください。

サンプル導入に問題があります(たとえば、空気の漏れ)。

ネブライザースプレーチャンバーの取り付け状態をチェックします。

チューブ接続をチェックします。

%u ms 以内に実行コマンドが受信されませんでした。シャットダウンします

 

プラズマの点火上昇を開始させるコマンドが、P500 プロセッサからタイムアウト時間内に受信されませんでした。

プラズマ点火を再試行します。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。

RF 制御 PCA エラーオーバーフロー。

フラッシュ初期化チェックサム失敗。

SLIP 通信でのタイムアウト。

ハードウェア ウォッチドッグ リセットがトリガーされました。

 

RF 制御 PCA(ボード)でエラーが発生しました。

装置の動作が不安定になっています。

前面の電源ボタンで装置を再起動してください。